在较高压力下测量流速
MQ 系列
量程:10 SCCM – 12,000 SLPM (可选)
工作压力:11.5 – 320 PSIA
精度:±读数的 0.6% 或满量程的 ±0.1%,以较大者为准
重复性:满量程的± 0.1%