适用于大多数气体测量
层流 M 系列
量程:0.5 SCCM – 12,000 SLPM (可选)
工作压力:11.5 – 160 PSIA
精度:高达 ±读数的 0.5%
重复性:±(读数的 0.1% + 满量程的 0.02%)