在耐腐蚀条件下用于气体测量
MS 系列
可选130 种气体,包括腐蚀性气体
量程:0.5 SCCM – 12,000 SLPM
工作压力:11.5 – 160 PSIA
精度:± 0.4% 的读数和 ± 0.2% 的满量程